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제품소개

SAS-HMS 4.0

이동석 2023.09.14 11:20 조회 111


SAS-HMS 4.0 

   - 반도체/디스플레이 화학증착장비(CVD) 챔버의 Plasma빛을 수광하여
      챔버 외부로 부터 유입되는 Air Leak 검출 및 챔버 벽에 쌓인 Polymer를 Cleaning하는 장비.


System Configuration

HMS Configuration.png



Specification for Detection Module

Detection Module Spec. for HMS.png



Specification for Main Controller

Spec. for Main Controller.jpg


Software

[ HMS Leak Detection ]
Software-Leak Detection.png

[ HMS Chamber Cleaning ]
Software-Cleaning.png


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