HOME / PRODUCT / 제품소개

제품소개

SAS-EPD 4.0

이동석 2023.09.14 11:20 조회 106


SAS-EPD 4.0 

   - 반도체/디스플레이 식각장비(Etcher) 챔버의 Plasma빛을 수광하여
      Etchant 혹은 By-Product 변화의 추적을 통해 공정의 식각종료시점을 검출하는 장비.


System Configuration

EPD System Configuration.jpg


Specification for Detection Module


Detection Module Spec. for EPD.png



Specification for Main Controller

Spec. for Main Controller.jpg


Software

EPD Software-Main.png

EPD Software-Main2.png

EPD Software-RTMS.png


다음글 | SAS-HMS 4.0 FILE
이전글 | 이전글이 없습니다.