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OES 응용분야

이동석 2023.09.14 10:10 조회 81

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OES란 빛 방출 분석(Optical Emission Spectroscopy)의 의미로 

   - 원자, 이온, 분자들이 한 에너지 상태에서 다른 에너지 상태로 이동할 때에는

     해당하는 에너지 준위 만큼의 에너지()를 방출하게 됩니다.


   - Plasma(상태를 관찰하여 정성적으로 분석하는 방식입니다.



OES의 응용분야 

   - 반도체 및 디스플레이 산업에서 Etcher(식각장비)의 End Point Detection(식각종료시점 검출)으로 응용.

   - 동일 산업에서 CVD(화학증착장비)의 Chamber(챔버)로 외부 공기 유입을 검출하는 Leak Detection(누설 검출)으로 응용.

   - CVD Chamber의 벽에 증착된 Polymer(폴리머)을 제거하기 위한 Chamber Cleaning목적으로도 응용.


보유기술(Technology) 

   - Plasma(플라즈마)의 광분석 및 진단 기술.
   
   - 신호처리 및 제어 기술.

   - 광 분석 및 제어용 Software 자체 기술.

   - 공정장비와의 각종 Communication(통신) 기술: TCP/IP, SECS-I/II, HSMS, DIO, AIO, SIO, Etc...

   - 20년 이상의 다양한 공정장비 제조사 및 소자업체와의 양산 경험.

   - 숙련된 현장경험으로 고객지원이 가능한 전담 인원 보유.

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